EKUSA 半導體用超純水氟樹脂制加熱器EHS型  

EKUSA 半導體用超純水氟樹脂制加熱器EHS型  

特征：

高純度、可靠性和可維護性

高純度產品
所有與液體接觸的部件均由PFA制成
無雜質洗脫
低溫加熱器，壽命長。
可與氫氟酸水一起使用。
可靠性
● 最大正常工作壓力為0.4MPa
● 無雜質洗脫
● 低溫設計加熱器，壽命長
● 可使用氫氟酸水
維護：
- 使用低溫加熱器，因此壽命是半長久性的，無需更換加熱器。
- 結構緊湊，安裝簡便
- 可以遠程控制。

產品型號：EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6

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